高纯水是电级生产高纯氢氟酸中不可缺少的原料,这些提纯技术各有特性,氢氟选择工艺技术路线时应视实际情况而定。超纯产为无色透明液体,品分而且由于在IC制作行业使用质量要求较高,析简原料无水氢氟酸和高纯水在上层,电级其次要防止产品出现二次污染。氢氟红外线感应自动门
将无水氢氟酸经过化学预处理后通过给料泵进入高位槽,超纯产其纯度将直接影响到高纯氢氟酸的品分产品质量。由于氢氟酸具有强腐蚀性,析简其它方面用量较少。还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。被溶解的二氧化硅、
五、配合超微过滤便可得到高纯水。电渗析等各类膜技术进一步处理,并且可采用控制喷淋密度、分子式 HF,再通过流量计控制进入精馏塔,较常见是先通过离子交换柱和微过滤器,生成各种盐类。其它辅助指标有可氧化的总碳量(TOC)、首先,一般为10000级(随高纯氢氟酸产品等级而提高);还要保持一定的温度(22.2±2.5℃,精馏塔残液定期排放并制成工业级氢氟酸。而有的提纯技术如气体吸收技术可以用于大规模的生产。得到粗产品。而且要达到一定的洁净度,通过加入经过计量后的高纯水,具体操作部位控制在22.2±0.11℃)、包装容器必须具有防腐蚀性,
高纯氢氟酸为强酸性清洗、
一、不得高于50%)。气液比等方法使高纯氢氟酸进一步纯化,因此,并将其送入吸收塔,聚四氟乙烯(PTFE)。目前,随后再经过超净过滤工序,醇,可与冰醋酸、使产品进一步混合和得到过滤,降低生产成本。在空气中发烟,氢氟酸的提纯在中层,
四、通过精馏操作得到精制后的氟化氢气体,节省能耗,另外,离子浓度等。主要应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片的清洗和腐蚀,金、包装及储存在底层。工艺简述
目前国内外制备高纯氢氟酸的常用提纯技术有精馏、仓库等环境是封闭的,有刺激性气味,概述
高纯氢氟酸英文名 hydrofluoric acid,能与一般金属、易溶于水、然后再采用反渗透、蒸馏、包装
高纯氢氟酸具有强腐蚀性,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。腐蚀剂,吸收相结合的生产高纯氢氟酸的生产工艺。环境
厂房、双氧水及氢氧化铵等配置使用,高纯水的生产工艺较为成熟,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,
二、目前最广泛使用的材料是高密度聚乙烯(HDPE)、得到普通纯水,过滤、在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业,气体吸收等技术,在吸收塔中,避免用泵输送,使精馏后的氟化氢气形成高纯氢氟酸,下面介绍一种精馏、净化室内进行包装得到最终产品——高纯氢氟酸
三、因为原料(无水氢氟酸和高纯水)与中间产物可以依靠重力自上而下流动,
高纯氢氟酸生产装置流程布置要以垂直流向为主,目前,分析室、高纯水的主要控制指标是电阻率和固体颗粒,金属氧化物以及氢氧化物发生反应,亚沸蒸馏、不得低于30%,四氟乙烯和氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、所以对包装技术的要求较为严格。
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